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2006.06.01

野崎篤志

半導体メガソニック洗浄装置をめぐり特許/商標侵害訴訟

2006-06-01
原告: Akrion, Inc. v.
被告: Product Systems, Inc.
Akrion, Inc.は、半導体のメガソニック(高周波超音波)洗浄技術に関する同社特許5件の侵害を理由に、Product Systems, Inc.(以下、Prosys)を米連邦地裁に提訴していたことを明らかにした。訴えによれば、Prosysが販売するシングルウエハ用メガソニック洗浄装置およびメガソニックによるバッチ処理システムが1件以上のAkrion特許を侵害するという。

訴状によれば、Akrionが当初侵害を主張していた米国特許は次のとおり[USP4,804,007; 5,090,432; 5,625,249; 6,039,059; 6,463,938; 6,684,891]で、具体的に侵害が指摘された製品は、Megpieシリーズ、Single Substrate Cleaner、Microknife、Laboratory Megasonics Systems、Tank Systems、Mark-I StandAlone Megasonic CleanerおよびPlate Transducer Array製品など。

Akrionは、Prosysが特許侵害に加え、Akrion製品を許可なく販売していたとして、商標侵害および虚偽広告・虚偽表示などの不正競争行為も主張している。

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